搬運、組裝、檢測、切割
龍門結(jié)構(gòu)、直線電機和驅(qū)動器,單驅(qū)結(jié)構(gòu);
μm級重復(fù)定位精度;
直線電機驅(qū)動、光柵尺反饋;
用于精度激光切割設(shè)備、檢測設(shè)備(AOI)、
激光打標設(shè)備等高精密設(shè)備;
參數(shù):
有效行程:根據(jù)需求定制
定位精度:±3μm
重復(fù)精度:±2μm
垂直度:±3arc-sec
最大速度:1.5m/s
最大加速度:1G
直線度:±2μm/300mm
分辨率:0.1μm
材質(zhì):大理石00級別
本文標簽: 菲格斯機電,直驅(qū)電機